Close

Máy đo kết quả ổn định OXY hóa nhiệt ETR ELLIPSOMETER

Danh mục: ,

Model: FALEX 430 ETR

  • Dùng xác định kết quả oxy hóa nhiệt trên ống heater tube sau khi trải qua quá trình thử nghiệm oxy hóa.
  • Tiêu chuẩn thử nghiệm ASTM D3241
  • Là phương pháp trọng tài chỉ định phương pháp trọng tài theo ASTM D1655
  • Cho phép hiệu chuẩn máy tại Việt Nam
  • Nguyên lý đo: quang học ellipsometric (ETR)
  • Nguồn quang Laser 1550nm
  • Tự động xác định độ dầy lớp cặn bám trên cột có điện tích max 2,5mm2, thể tích cặn.
  • Biểu đồ cặn dưới dạng không gian 3D hoặc 2D

  • Thể hiện màu kết quả là đỏ khi cặn vượt quá 85nm.
  • Chiều dài đo trên ống heater tube 5mm đến 55mm
  • Tự động đưa ống heater tube vào buồng đo và đưa cột ra ngoài khi đo xong
  • Tự động chụp ảnh ghi nhận số seri của ống heater tube và in kèm khi in báo cáo kết quả đo.
  • Cảnh báo kết quả Pass hoặc Fail
  • Kết quả đo lưu trong máy, lưu trong thẻ nhớ USB hoặc xuất ra máy tính, LIMS

  • Khoảng đo độ sâu lớp cặn: 0 – 330nm
  • Độ chính xác (precision) khảo sát tại 85nm
  • Độ lặp lại : r = 1,55nm
  • Độ tái lặp: R = 4,13nm
  • Sai số dựa trên ống reference tube chuẩn: +/-5% hickness
  • Nguồn điện sử dụng: 100 - 240V, 250w